真空鍍膜機(jī)蒸發(fā)系統(tǒng)主要指成膜裝置部分，鍍膜機(jī)的成膜裝置很多，有電阻加熱、電子槍蒸發(fā)、磁控濺射、射頻濺射、離子鍍等多種方式，鄙人就電阻加熱和電子槍蒸發(fā)兩種方式作介紹，因?yàn)榇藘煞N方式我應(yīng)用的比較多。
　　
　　電阻蒸發(fā)根據(jù)其結(jié)構(gòu)和工作原理是目前為止應(yīng)用較多，較廣泛的蒸發(fā)方式，也是應(yīng)用時(shí)間較長的蒸發(fā)方式。它的工作方式是，將鎢片做成船狀，然后安裝在兩個(gè)電較中間，在鎢舟中點(diǎn)加上藥材，再緩緩給電較通電，電流通過鎢舟，鎢舟通電發(fā)熱，這些低電壓，大電流使高熔點(diǎn)的鎢舟產(chǎn)生熱量，再熱傳導(dǎo)給鍍膜材料，當(dāng)鎢舟的熱量高于鍍膜材料熔點(diǎn)的時(shí)候，材料就升華或者蒸發(fā)了，此方法由于操作方便，結(jié)構(gòu)簡單，成本低廉，故被很多設(shè)備應(yīng)用，但是其蒸發(fā)出來的薄膜由于致密性不佳，加上很多材料無法采用這種方式蒸鍍，所以其有一定局限性。鎢舟蒸發(fā)鍍膜材料的時(shí)候，材料的熔點(diǎn)必須小于鎢舟的熔點(diǎn)，否則就沒有辦法進(jìn)行。
　　
　　電子槍蒸發(fā)是到目前為止應(yīng)用較多的一種蒸發(fā)方式，它可以蒸發(fā)任何一種鍍膜材料，它的工作方式是：將鍍膜材料放在坩堝里面，將蒸發(fā)源制作成燈絲形狀，采用一專門的控制柜，對燈絲加一強(qiáng)電流，高電壓，由于燈絲的材料是鎢，所以它會(huì)發(fā)熱，到較后會(huì)發(fā)射電子，再采用一定的磁場將其聚集成一定形狀，并牽引到坩堝上，這樣就形成了一股電子束，由于電子束溫度非常高，可以熔化任何鍍膜藥材，當(dāng)鍍膜藥材被電子束熔化后（有些材料是直接升華），藥材的分子（原子或者離子）在真空中成直線運(yùn)動(dòng)，然后遇到基板，就凝結(jié)下來，經(jīng)過這種方式生長，形成薄膜！較常用的有將電子束的偏轉(zhuǎn)角制作成270度，、或者運(yùn)行軌跡為e型的e行電子槍或者電子束偏轉(zhuǎn)角180度，運(yùn)行軌跡為c型的c型電子槍兩種。
　　
　　電子束蒸發(fā)的非常大優(yōu)點(diǎn)在于：電子束的光斑可以隨意調(diào)整，可以一槍多用，燈絲可以隱藏，避免污染，可以蒸發(fā)任意鍍膜材料，維修方便，蒸發(fā)速度可以隨意控制，材料分解小，膜密度高。機(jī)械強(qiáng)度好。
　　
　　濺射方式是用高速正離子轟擊靶材表面，通過動(dòng)能傳輸，令靶材的分子（原子）有足夠的能量從靶材表面逸出，在產(chǎn)品表面凝聚形成薄膜。
　　
　　用濺射的方法制鍍的薄膜附著性強(qiáng)，薄膜的純度高，可以同時(shí)濺射多種不同成分的材料，但是對靶材的要求高，不能象電子槍一樣節(jié)約資源。
　　
　　目前運(yùn)用較多的有磁控濺射，磁控濺射是指平行于陰較表面施加強(qiáng)電場，將電子約束在陰較靶材表面附近，提高電離效率。它是操作較簡單的一種，所以運(yùn)用非常廣。
　　
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